因为蚀刻后的沟槽总是有一定的角度，金属漆 底漆附着力不好如85电介质的上表面宽度不仅取决于蚀刻的大小，还取决于化学机械研磨的深度。良好的蚀刻和化学机械研磨工艺的均匀性对整个晶圆的均匀性至关重要。不同于互连金属之间的介电宽度可调谐性很低，通过改变通孔蚀刻工艺，互连金属线之间的介电宽度可大大调节。
plasma等离子体负载型碱土金属氧化物催化剂的催化活性：plasma等离子体与载体共同作用下CO2氧化CH4制C2烃反应研究表明：酸性载体Y-Al2O3，金属漆 底漆附着力不好具有较高的甲烷转化率(43.4%)，但C2烃选择性低(30.6%)：碱性载体MgO虽然甲烷转化率低(17.8%)，但C2烃选择性高(57.4%)。如果将MgO负载于Y-Al2O3是否能在维持一定甲烷转化率基础上，获得较高的C2烃选择性。
例1：O2＋e-→2O*＋e- O*＋有机物→CO2＋H2O从反应式可见，金属漆 附着力差氧等离子体通过化学反应可使非挥发性有机物变成易挥发的H2O和CO2。例2：H2＋e-→2H*＋e- H*＋非挥发性金属氧化物→金属＋H2O从反应式可见，氢等离子体通过化学反应可以去除金属表面氧化层，清洁金属表面。
等离子清洗机其最大优势在于清洗后无废液，金属漆 底漆附着力不好最大特...
